Eintrag weiter verarbeiten
Interface diffusion and reaction between Ti layer and Si3N4/Si substrate
Zapisane w:
Tytuł czasopisma: | Surface and Interface Analysis |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Surface and Interface Analysis, 32, 2001, 1, S. 296-300 |
Format: | E-Article |
Język: | Englisch |
Wydane: |
Wiley
|
Hasła przedmiotowe: |