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Interface diffusion and reaction between Ti layer and Si3N4/Si substrate
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Surface and Interface Analysis |
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Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Surface and Interface Analysis, 32, 2001, 1, S. 296-300 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Wiley
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Schlagwörter: |