Eintrag weiter verarbeiten
Interface diffusion and reaction between Ti layer and Si3N4/Si substrate
Uloženo v:
Název časopisu: | Surface and Interface Analysis |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Surface and Interface Analysis, 32, 2001, 1, s. 296-300 |
Formát: | Článek |
Jazyk: | angličtina |
vydáno v: |
Wiley
|
Předměty: |