Eintrag weiter verarbeiten
Analysis and characterization of an electrostatically actuated in-plane parylene microvalve
Zapisane w:
Tytuł czasopisma: | Journal of Micromechanics and Microengineering |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , |
In: | Journal of Micromechanics and Microengineering, 21, 2011, 10, S. 105009 |
Format: | E-Article |
Język: | Unbestimmt |
Wydane: |
IOP Publishing
|
Hasła przedmiotowe: |