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Analysis and characterization of an electrostatically actuated in-plane parylene microvalve
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Micromechanics and Microengineering |
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Personen und Körperschaften: | , |
In: | Journal of Micromechanics and Microengineering, 21, 2011, 10, S. 105009 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
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Schlagwörter: |