Eintrag weiter verarbeiten
Analysis and characterization of an electrostatically actuated in-plane parylene microvalve
Uloženo v:
Název časopisu: | Journal of Micromechanics and Microengineering |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , |
In: | Journal of Micromechanics and Microengineering, 21, 2011, 10, s. 105009 |
Formát: | Článek |
Jazyk: | Neurčité |
vydáno v: |
IOP Publishing
|
Předměty: |