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Optical, structural and electrical properties of devicequality hydrogenated amorphous silicon-nitrogen films deposited by plasma-enhanced chemical vapour deposition
Zapisane w:
Tytuł czasopisma: | Philosophical Magazine B |
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Personen und Körperschaften: | |
In: | Philosophical Magazine B, 77, 1998, 4, S. 925-944 |
Format: | E-Article |
Język: | Unbestimmt |
Wydane: |
Informa UK Limited
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Hasła przedmiotowe: |