Eintrag weiter verarbeiten
Optical, structural and electrical properties of devicequality hydrogenated amorphous silicon-nitrogen films deposited by plasma-enhanced chemical vapour deposition
Uloženo v:
Název časopisu: | Philosophical Magazine B |
---|---|
Personen und Körperschaften: | |
In: | Philosophical Magazine B, 77, 1998, 4, s. 925-944 |
Formát: | Článek |
Jazyk: | Neurčité |
vydáno v: |
Informa UK Limited
|
Předměty: |