Eintrag weiter verarbeiten
Investigation of radio frequency plasma for the growth of diamond like carbon films
Zapisane w:
Tytuł czasopisma: | Physics of Plasmas |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Physics of Plasmas, 19, 2012, 3, S. 033515 |
Format: | E-Article |
Język: | Englisch |
Wydane: |
AIP Publishing
|
Hasła przedmiotowe: |