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Investigation of radio frequency plasma for the growth of diamond like carbon films
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Physics of Plasmas |
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Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Physics of Plasmas, 19, 2012, 3, S. 033515 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |