Eintrag weiter verarbeiten
Investigation of radio frequency plasma for the growth of diamond like carbon films
Uloženo v:
Název časopisu: | Physics of Plasmas |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Physics of Plasmas, 19, 2012, 3, s. 033515 |
Formát: | Článek |
Jazyk: | angličtina |
vydáno v: |
AIP Publishing
|
Předměty: |