Eintrag weiter verarbeiten
Si Surface Preparation for Heteroepitaxial Growth of SiC Using In Situ Oxidation
Zapisane w:
Tytuł czasopisma: | Materials Science Forum |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , , , , |
In: | Materials Science Forum, 821-823, 2015, S. 205-208 |
Format: | E-Article |
Język: | Unbestimmt |
Wydane: |
Trans Tech Publications, Ltd.
|
Hasła przedmiotowe: |