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Plasma Treatment of 3C-SiC Surfaces
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Materials Science Forum |
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Personen und Körperschaften: | , , , , |
In: | Materials Science Forum, 740-742, 2013, S. 287-290 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
Trans Tech Publications, Ltd.
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Schlagwörter: |