Eintrag weiter verarbeiten
A Resonant Pressure Sensor Based upon Electrostatically Comb Driven and Piezoresistively Sensed Lateral Resonators
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Micromachines |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , , , , , |
In: | Micromachines, 10, 2019, 7, S. 460 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
MDPI AG
|
Schlagwörter: |