Eintrag weiter verarbeiten
Design, Fabrication, and Testing of a Monolithically Integrated Tri-Axis High-Shock Accelerometer in Single (111)-Silicon Wafer
Zapisane w:
Tytuł czasopisma: | Micromachines |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , , , , , |
In: | Micromachines, 10, 2019, 4, S. 227 |
Format: | E-Article |
Język: | Englisch |
Wydane: |
MDPI AG
|
Hasła przedmiotowe: |