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Design, Fabrication, and Testing of a Monolithically Integrated Tri-Axis High-Shock Accelerometer in Single (111)-Silicon Wafer
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Micromachines |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , , |
In: | Micromachines, 10, 2019, 4, S. 227 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
MDPI AG
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Schlagwörter: |