Eintrag weiter verarbeiten
Design, Fabrication, and Testing of a Monolithically Integrated Tri-Axis High-Shock Accelerometer in Single (111)-Silicon Wafer
Uloženo v:
Název časopisu: | Micromachines |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , , , , , |
In: | Micromachines, 10, 2019, 4, s. 227 |
Formát: | Článek |
Jazyk: | angličtina |
vydáno v: |
MDPI AG
|
Předměty: |