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Kinetics of the decomposition of disilane molecules on a silicon growth surface in vacuum chemical epitaxy
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Russian Journal of Physical Chemistry B |
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Personen und Körperschaften: | , |
In: | Russian Journal of Physical Chemistry B, 7, 2013, 3, S. 244-250 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Pleiades Publishing Ltd
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Schlagwörter: |