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A New Method to Extract Piezoresistive Coefficients in Polysilicon Through Gauges Placed on a MEMS Membrane
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Procedia Engineering |
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Personen und Körperschaften: | , , , , |
In: | Procedia Engineering, 47, 2012, S. 426-429 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Schlagwörter: |