Eintrag weiter verarbeiten
Metal vapour vacuum arc ion implantation to synthesize FeSi2 layers on Si(100) and Si(111)
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Physica Status Solidi (a) |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , |
In: | Physica Status Solidi (a), 152, 1995, 2, S. 467-476 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Deutsch |
veröffentlicht: |
Wiley
|
Schlagwörter: |