Eintrag weiter verarbeiten
A digital holographic microscope for complete characterization of microelectromechanical systems
Zapisane w:
Tytuł czasopisma: | Measurement Science and Technology |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , , , |
In: | Measurement Science and Technology, 15, 2004, 3, S. 529-539 |
Format: | E-Article |
Język: | Unbestimmt |
Wydane: |
IOP Publishing
|
Hasła przedmiotowe: |