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A digital holographic microscope for complete characterization of microelectromechanical systems
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Measurement Science and Technology |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , |
In: | Measurement Science and Technology, 15, 2004, 3, S. 529-539 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
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Schlagwörter: |