Eintrag weiter verarbeiten
A digital holographic microscope for complete characterization of microelectromechanical systems
Uloženo v:
Název časopisu: | Measurement Science and Technology |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , , , |
In: | Measurement Science and Technology, 15, 2004, 3, s. 529-539 |
Formát: | Článek |
Jazyk: | Neurčité |
vydáno v: |
IOP Publishing
|
Předměty: |