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Chemically active plasmas for deterministic assembly of nanocrystalline SiC film
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Physics D: Applied Physics |
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Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Journal of Physics D: Applied Physics, 40, 2007, 8, S. 2304-2307 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
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Schlagwörter: |