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Influence of scribe damage on pits formed by immersion of Si in HF solution
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Applied Physics |
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Personen und Körperschaften: | |
In: | Journal of Applied Physics, 60, 1986, 1, S. 401-405 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |