Eintrag weiter verarbeiten
Synthesis of β- and α-FeSi2 phases by Fe ion implantation into Si using metal vapor vacuum arc ion source
Zapisane w:
Tytuł czasopisma: | Journal of Applied Physics |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , , |
In: | Journal of Applied Physics, 75, 1994, 8, S. 3847-3854 |
Format: | E-Article |
Język: | Englisch |
Wydane: |
AIP Publishing
|
Hasła przedmiotowe: |