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Synthesis of β- and α-FeSi2 phases by Fe ion implantation into Si using metal vapor vacuum arc ion source
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Applied Physics |
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Personen und Körperschaften: | , , , , |
In: | Journal of Applied Physics, 75, 1994, 8, S. 3847-3854 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |