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Absolute densities of long lived species in an ionized physical vapor deposition copper–argon plasma
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Applied Physics |
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Personen und Körperschaften: | , , , , |
In: | Journal of Applied Physics, 88, 2000, 6, S. 3208-3219 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |