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Sputtering ion source with simultaneous use of microwave and Penning-ionization-gauge discharge
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Review of Scientific Instruments |
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Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Review of Scientific Instruments, 61, 1990, 1, S. 598-600 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |