Eintrag weiter verarbeiten
Thermal stability of plasma-nitrided aluminum oxide films on Si
Zapisane w:
Tytuł czasopisma: | Applied Physics Letters |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , , , , , , |
In: | Applied Physics Letters, 84, 2004, 1, S. 97-99 |
Format: | E-Article |
Język: | Englisch |
Wydane: |
AIP Publishing
|
Hasła przedmiotowe: |