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Thermal stability of plasma-nitrided aluminum oxide films on Si
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Applied Physics Letters |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , , , |
In: | Applied Physics Letters, 84, 2004, 1, S. 97-99 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |