Eintrag weiter verarbeiten
Thermal stability of plasma-nitrided aluminum oxide films on Si
Uloženo v:
Název časopisu: | Applied Physics Letters |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , , , , , , |
In: | Applied Physics Letters, 84, 2004, 1, s. 97-99 |
Formát: | Článek |
Jazyk: | angličtina |
vydáno v: |
AIP Publishing
|
Předměty: |