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Anion reactions in silane plasma
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Applied Physics |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | Journal of Applied Physics, 91, 2002, 9, S. 5571-5580 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |