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Enhanced gettering of gold at end-of-range defects in high energy ion implanted silicon
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Advanced Materials Letters |
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Personen und Körperschaften: | |
In: | Advanced Materials Letters, 8, 2017, 10, S. 999-1003 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
International Association of Advanced Materials
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Schlagwörter: |