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The Structural and Electrical Properties of Ta2O5 Thin Films Prepared by DC Sputtering Method
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Key Engineering Materials |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | Key Engineering Materials, 500, 2012, S. 317-321 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
Trans Tech Publications, Ltd.
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Schlagwörter: |