Eintrag weiter verarbeiten
Micromachining of Silicon - Study on the Material Removal Mechanism
Zapisane w:
Tytuł czasopisma: | Advanced Materials Research |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , |
In: | Advanced Materials Research, 1018, 2014, S. 167-174 |
Format: | E-Article |
Język: | Unbestimmt |
Wydane: |
Trans Tech Publications, Ltd.
|
Hasła przedmiotowe: |