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Mechanical Behaviors Research and the Structural Design of a Bipolar Electrostatic Actuation Microbeam Resonator
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Sensors |
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Personen und Körperschaften: | , , , , |
In: | Sensors, 19, 2019, 6, S. 1348 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
MDPI AG
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Schlagwörter: |