Eintrag weiter verarbeiten
Microhotplates for Metal Oxide Semiconductor Gas Sensor Applications—Towards the CMOS-MEMS Monolithic Approach
Zapisane w:
Tytuł czasopisma: | Micromachines |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Micromachines, 9, 2018, 11, S. 557 |
Format: | E-Article |
Język: | Englisch |
Wydane: |
MDPI AG
|
Hasła przedmiotowe: |