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Measurement of Ti Atom Densities Against Discharge Parameters in Ti-O2 Magnetron Sputtering.
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | SHINKU |
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Personen und Körperschaften: | , |
In: | SHINKU, 44, 2001, 3, S. 314-317 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
The Vacuum Society of Japan
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Schlagwörter: |