Eintrag weiter verarbeiten
Beschleunigungssensor mit quasiplanarer Federstruktur und Dünnfilm-Dehnungsmeßstreifen / Accelerometer sensor with quasi-planar spring structure and thin film strain gauges
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | teme |
---|---|
Personen und Körperschaften: | , |
In: | teme, 54, 1987, 1, S. 10-14 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Walter de Gruyter GmbH
|
Schlagwörter: |