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Inline surface topography measurements of ultrashort laser pulsed manufactured micro structures based on low coherence interferometry : Inline low coherence interferometry measurem...
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | tm - Technisches Messen |
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Personen und Körperschaften: | , |
In: | tm - Technisches Messen, 84, 2017, 9, S. 575-586 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Walter de Gruyter GmbH
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Schlagwörter: |