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Features of the two-component decomposition of monosilane molecules on a silicon surface under epitaxial-process conditions
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Semiconductors |
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Personen und Körperschaften: | , |
In: | Semiconductors, 48, 2014, 6, S. 828-837 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Pleiades Publishing Ltd
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Schlagwörter: |