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Effect of fluorine ion implantation on radiation-induced processes in the insulator layer of silicon-on-insulator structures
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Inorganic Materials |
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Personen und Körperschaften: | , , , , |
In: | Inorganic Materials, 48, 2012, 3, S. 222-224 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Pleiades Publishing Ltd
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Schlagwörter: |