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NUMERICAL SIMULATION OF THE THERMAL OXIDATION OF POLYCRYSTALLINE SILICON
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | COMPEL - The international journal for computation and mathematics in electrical and electronic engineering |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | COMPEL - The international journal for computation and mathematics in electrical and electronic engineering, 12, 1993, 4, S. 417-422 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Emerald
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Schlagwörter: |