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Electrochemical Deposition of Conformal and Functional Layers on High Aspect Ratio Silicon Micro/Nanowires
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Nano Letters |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , |
In: | Nano Letters, 17, 2017, 7, S. 4502-4507 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
American Chemical Society (ACS)
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Schlagwörter: |