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Palladium thin film deposition from liquid precursors on polymers by projected excimer beams
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Applied Surface Science |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , |
In: | Applied Surface Science, 168, 2000, 1-4, S. 66-70 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Schlagwörter: |