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Progress toward the fabrication of scanning near field optical probe: pattern definition by e-beam lithography
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Microelectronic Engineering |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | Microelectronic Engineering, 57-58, 2001, S. 807-811 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Schlagwörter: |