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Numerical modelling for CVD simulation and process optimization: coupled thermochemical and mass transport approaches
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Surface and Coatings Technology |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | Surface and Coatings Technology, 61, 1993, 1-3, S. 274-281 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Schlagwörter: |