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Definition of geometries with complicated, curved boundaries for electron beam pattern generation
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Microelectronic Engineering |
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Personen und Körperschaften: | , |
In: | Microelectronic Engineering, 9, 1989, 1-4, S. 495-497 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Schlagwörter: |