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Investigation of contact lithography in the 5–20 nm region with a laser plasma source
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Optics & Laser Technology |
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Personen und Körperschaften: | |
In: | Optics & Laser Technology, 27, 1995, 6, S. 375-378 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Schlagwörter: |